鈦化工軸流泵的除氣機(jī)理介紹

（1） 對(duì)活性氣體的抽除

對(duì)N2、O2、CO和CO2等氣體的排除主要靠淀積于陽(yáng)極筒內(nèi)壁上的鈦膜的化學(xué)吸附。

（2） 對(duì)氫氣的抽除

對(duì)氫氣的抽除有化學(xué)吸附，也有擴(kuò)散、吸收、溶解作用。

（3） 對(duì)惰性氣體的抽除

對(duì)惰性氣體的排除，主要靠離子“掩埋”，被電離的惰性氣體的離子轟擊陰極時(shí)，有以下三種情況：

a、離子直接打入陰極內(nèi)，或打入陰極邊緣對(duì)面的陽(yáng)極板上的鈦淀積層內(nèi)；

b、斜射的離子切入陰極表面，離子和鈦一起被掀掉而沉積在陰極板的周圍或其它地方；

c、離子沒(méi)有打入板內(nèi)，但是從陰極得到電子而復(fù)合為中性原子，然后又反射到陽(yáng)極內(nèi)表面的鈦膜中。